Sujet de thèse

Procédés de dépôt par pulvérisation plasma pour la synthèse de couches minces fonctionnelles

  • Type
    Doctorat Post-doctorat

Description

Ce projet de recherche vise à contribuer à la compréhension fondamentale des interactions plasma-surface dans le cas des processus basés sur la pulvérisation magnétron. Comprendre les propriétés du plasma permet d’adapter les propriétés physico-chimiques des couches minces aux applications ciblées dans des domaines tels que l’électronique, la photonique, la mécanique, la production et le stockage d’énergie, …

La pulvérisation magnétron est une technique de dépôt de couches minces offrant un large éventail de possibilités en termes de synthèse de matériaux. De nombreuses variantes sont disponibles telles que la pulvérisation réactive, la co-pulvérisation, le dépôt sous incidence rasante (GLAD), la pulvérisation magnétron en régime d’impulsion de haute puissance (HiPIMS) et, plus récemment, le mode HiPIMS bipolaire (B-HiPIMS). Dans chaque cas, le procédé est adapté pour fournir plus de degrés de liberté, permettant ainsi le réglage fin de la chimie et de la micro-/nanostructure des films. Cependant, il reste encore divers aspects de l’interaction plasma-paroi à comprendre, comme, par exemple, dans le cas des processus HiPIMS où un bombardement ionique intense est mis en œuvre pendant la croissance du film. Il existe également de nombreux exemples où les processus de pulvérisation par plasma peuvent être bénéfiques et les protocol de synthèse optimisées pour correspondre aux critères des applications.

Pour atteindre l’objectif mentionné ci-dessus, des techniques avancées de diagnostic plasma ainsi que des outils d’analyse de surface et de matériaux sont mis en œuvre. Nous travaillons également en étroite collaboration avec des groupes de recherche impliqués dans la caractérisation et la modélisation des matériaux.

Cliquez sur les liens ci-dessous pour lire quelques-unes de nos publications sur ce sujet :
http://linkinghub.elsevier.com/retrieve/pii/S0257897209009426
https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2019.08.016
http://iopscience.iop.org/0022-3727/47/22/224001/article/
http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-85022327523&partnerID=MN8TOARS
https://linkinghub.elsevier.com/retrieve/pii/S1359646216302792

À propos de ce sujet de thèse

Lié à
Promoteur
Stephanos KONSTANTINIDIS

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